耐プラズマCVD用ベルジャ 材質N-999S

耐プラズマCVD用ベルジャ 材質N-999S 1502b
大きさ φ270×160H

半導体製造装置用に製作しました。
プラズマによる磨耗に強い、高純度アルミナ99.9%(N-999S)材料で製作しました。

特長 (N-999S)

結晶径が3~5μmと細かく、かつ緻密に並ぶ結晶構造をもつセラミックスです。
プラズマによる磨耗が少なく、パーティクル対策として採用して頂いています。

 

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