半導体・液晶製造装置用/ソーラー用 セラミックス

 

半導体・液晶製造装置用/ソーラー用セラミック製品

半導体製造装置には、高剛性・加工精度・耐震性・耐熱性・熱伝導率・表面処理精度・メタルコンタミネーション・耐薬液性・耐ガス性・耐プラズマ性・絶縁性・誘電率・誘電正性・体積抵抗率・低発塵(パーティクル)・コスト等の諸特性が求められます。
西村陶業は上記の特性に対応出来るセラミックスとして高純度アルミナ(Al2O3 99.5%以上、Al2O3 99.9%以上)、窒化アルミ(ALN)、イットリア(Y203)を提唱します。

高純度アルミナは、その特性により搬送アーム、ウエハーステージ等に使用されています。またメタライズ性に優れた特長を発揮します。
窒化アルミは熱伝導性・放熱性・耐熱衝撃性・電気絶縁性に優れており、熱膨張率がシリコンウェハーに近いという特性もあります。
イットリアは耐プラズマ性に大変優れた素材です。

事例紹介

耐プラズマCVD用ベルジャ 材質N-999S

耐プラズマCVD用ベルジャ 材質N-999S

半導体製造装置用にプラズマによる磨耗に強い、高純度アルミナ99.9%(N-999S)材料で製作しました。

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アルミナ N-999S チューブ

アルミナ N-999S チューブ

アルミナ99.9%(N-999S)で曲がりの少ないパイプを製作しました(サイズ:φ10 +0/-0.05×φ8 +0.1/0×350L)。
内径研磨仕上げ無しで反り0.2mm以下で成型し焼き上げました。

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修正リング(修正板リング)

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修正リング(修正板リング) ケンマ盤の定盤修正用リングです。アルミナ99.5%製ご要望に合わせたサイズ、形状、精度で製造可能です。

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耐プラズマ用セラミックスU字管

耐プラズマ用セラミックスU字管

アルミナ99.5%製のU字管が半導体製造装置に耐プラズマ保護管として採用されています。

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耐プラズマ保護カバー

透光性アルミナN-9000NS

西村陶業の透光性アルミナN‐9000NSが、半導体製造装置用の耐プラズマ用保護カバーとして採用されています。

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耐プラズマ用エルボ

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高純度アルミナ製、耐プラズマ用の2分割エルボです。

組み立て可能な形状になっています。

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高純度アルミナN-99製(アルミナ99.5%以上) 半導体製造装置用部品

高純度アルミナN-99製(アルミナ99.5%以上)半導体製造装置用部品

高純度アルミナN-99製(アルミナ99.5%以上)の製品が半導体製造装置用部品として採用されています。

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西村陶業株式会社
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