イットリア

イットリア(Y2O3 )は腐食性ガスやプラズマに対する耐食性に優れた材料で、半導体装置用の部品等に利用されています。また化学的に安定していますので、溶湯部品やセッター等に利用されています。
材料特性
主な材料特性表(PDF 63.7KB)
 

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